最適合大范圍的高速靜電消除或無塵環(huán)境下的靜電消除
1、搬運(yùn)基板時(shí)的靜電消除。
2、防止異物粘附到板材上。
3、空氣吹淋室內(nèi)的靜電消除
4、靜電吸附的粉塵顆粒
1、配備ICC靜電檢測(cè)功能，能夠針對(duì)產(chǎn)品帶電情況針對(duì)性產(chǎn)生相反離子。
2、靜電檢測(cè)報(bào)警、靜電棒異常報(bào)警信號(hào)，確保靜電消除器正常工作。
通過空氣清潔或變更離子發(fā)生周期，可滿足高速靜電消除或免維護(hù)等靜電對(duì)策的需求。
無論是短距離還是長(zhǎng)距離均可進(jìn)行大范圍的高速靜電消除
